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  • 中空阴极组件

    中空阴极组件


    全采用独特材料与特殊结构自主研发的中空阴极组件,能提供传统灯丝型中和器所不能提供的工作效果:


    - 最大20A的大电子束流,适用于无栅网和有栅网离子源系统

    连续工作时间能达到100小时以上,工作稳定可靠

    工作过程无污染,适合工业规模生产使用

    兼容国外设备,支持定制化工艺改进

    中空阴极组件
  • 高端配件

    高端配件


    博顿提供一系列可替代国外同类产品的高价值关键配件和耗材。






    高端配件

离子束微纳加工装备与工艺解决方案提供商

高性能离子源/离子束镀膜/离子束刻蚀/
离子束表面处理

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