全自主研发的特种开关电源系统和逻辑控制系统,融合了各类工艺应用场景经验参数,为离子源操作提供稳定可靠的驱动与全面灵活的控制,支持一键启动自动模式与工程手动模式,可以在最苛刻的工艺环境中实现最佳的离子源工作性能,支持与镀膜机控制系统的无缝对接。