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博顿天璇RISE系列
射频离子源
应用方向:
辅助沉积
离子束刻蚀
离子束清洗
离子束溅射
产品特点
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离子束能量大
01
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离子束流精准可控
02
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热辐射低
03
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连续工作时间长
04
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适应多种工作气体
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对膜层无污染
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产品优势
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全自主研发与制造，非拼装集成
独创多层栅网加工工艺，支持多种不同形状和尺寸
射频电源与控制器自主可控，确保最佳性能
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自适应匹配，一键超快启动和超高匹配效率
全自主研发离子束仿真模拟软件与离子束精准测量系统
多场景多领域工艺验证，性能指标优异
技术参数
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