产品特点

• 结构紧凑，适应性强

  适合各类科研试验用小型工作台 结构兼容性强

  

  01

• 匹配多应用场景

  匹配多种工艺气体环境，可适用于离子束辅助镀膜、离子束溅射镀膜、离子束刻蚀及清洗等多种场景

  

  02

• 自主可控，操作便利，维护简单

  部件与系统全自主可控,启动快速,操作灵活，硬件维护简单

  

  03

• 高稳定可靠性

  全自主中和器技术,支持超长工艺，热辐射低,无污染,工艺重复性高

  

  04

• 离子束能量大

  

  05

• 离子束流范围

  

  06

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