产品特点

• >200小时

  无灯丝中和、长时间连续工作、维护简易

  

  01

• 60x300mm,60x900mm

  矩形、全自主工艺特种栅网、大面积处理能力

  

  02

• 离子能量束流大、高准直

  射频驱动、有栅、稳定高效

  

  03

• 适应多种工作气体

  支持氧、氮、氢(其他惰性气体)

  

  04

• 工艺重复性高

  特殊水冷、等离子体均匀性高

  

  05

• 精确与灵活控制

  全自主研发的电源驱动与控制系统

  

  06

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